精密洗浄技術

精密洗浄技術:ハードディスク(HD)基板、光学ガラス基板用等

1. ハードディスク基板洗浄とは?

ハードディスク基板の材質はNi-Pメッキされたアルミとガラスの2種類に大別され、いずれも表面を酸化セリウムやアルミナ、コロイダルシリカといった研磨材で鏡面研磨され、最終的な平均表面粗さはÅオーダーに仕上げられます。このとき発生する微小異物を洗浄によって完全に除去しないと、その後の磁性膜や潤滑膜の形成後も表面の凹凸が残るため、ヘッドとの衝突など欠陥の原因となります。近年、ハードディスクは小型化、大容量化への動きが加速し、基板には一層厳しい清浄度が求められるようになってきています。

2. ライオンのハードディスク基板用洗浄剤の特徴

一般的な粒子洗浄の機構は基板表面をエッチングし、基板の材質ごと研磨材粒子を剥離するものです。しかし、ライオンの洗浄剤は粒子へ選択的に作用する性質を持つため、基板を過度に腐食する恐れがありません。
また、研磨材粒子のζ電位を高めることで再付着防止能にも優れています。

3. ライオンのハードディスク基板用洗浄剤のラインナップ

MD-10 MD-2010 MD-3000
特徴 Gサブ洗浄 ポリッシュ後洗浄
(高粒子剥離タイプ)
ポリッシュ後洗浄
(高粒子分散タイプ)
pH 7.5(原液) 13.5(原液) 13.0(原液)
BOD(原液、g/L) 2.9 3.6
COD(原液、g/L) 6.4 4.2
推奨使用濃度(%) 0.1~0.5 0.5~3 0.5~3